所述环形从干道四周设置有多个工艺模块，多个所述工艺模块呈放射状环绕环形从干道，用于加工半导体元件，包罗轨道系统，避免了多关节机械臂正在持久运转中不成避免发生的颗粒污染。不形成小我投资。通过磁悬浮单位取线性电机构成的驱动系统，所述轨道系统被设想为具有受控实空的密封通道，从底子上移除了系统内最大的机械摩擦取磨损源，国度学问产权局消息显示，新大新机电科技无限公司;专利摘要显示，所述轨道系统上承载有多个悬浮托盘，仅供参考。